1.焦点対物レンズの前の保護ガラス片がワークの飛散物によって破損または汚染されていないかを検査し、この保護レンズはレーザー光の透過率を保証するために直ちに交換しなければならない。
　　2.光学系に遮光や光学部品の破損がないかチェックする。
　　3.レーザの前、后反射ミラーがほこりに汚染されているかどうかを調べ、無水エタノールで軽く拭き取る。
　　4.上記の方法が有効でない場合は、新しいランプの交換と集光空洞の清掃を考慮しなければならない。
　　5.操作メンテナンス人員が故障を排除できない時、工場側と連絡して点検を指導したり人を派遣してください。決して非専門員に点検をしてもらうことはありません。